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第十五章 晶圆加工中的商务因素

1、制造和工厂经济:
尽管有在工艺、成本以及市场方面的诸多变化,衡量芯片制造领域的财政状况的方法依然相同:即对于芯片厂售出的有功能的芯片,每片的成本如何(the cost per functioning die shipped out of fabrication)等;在因拥有了封装能力而完全扩展为商业工厂后,衡量方式又变成每一片售出的芯片成本(the cost per die shipped);在百万级的集成电路世界,每个晶体管的成本正成为一个指示参数。
2、晶圆的制造成本:
a.固定成本:
■管理费用(行政人员数量增长快于生产人员;工厂设施成本及设施维护费用等)
■设备(折旧)
b.非固定成本
■材料:直接材料(进入到芯片中或加在芯片上的材料)和非直接材料(掩膜版等化学品)
■劳动力:直接劳动力和非直接劳动力
■良品率:有良品率的芯片成本(yielded die cost)和未有良品率的芯片成本(unyield die cost)
3、生产成本因素:
a.300毫米直径的晶圆成本估算: 折旧35%  劳动力7%  维护7%  消耗品(直接材料12% 测试晶圆6% 非直接材料26%)  其他7%
b.账面-单据(book to bill)比率
c.生产策略
d.污染控制系统
4、良品率和生产率:
高良品率意味着较低的生产成本和较高的利润,当晶圆分拣良品率达到90%的水平时,下一个降低成本的因素就是生产率,生产率可通过两个方面来衡量,即整个制造区域内每平方英尺出产的晶圆数(或每件设备出产的晶圆数或每名操作员生产的晶圆数)和产量(每小时的晶圆数)
5、设备(tool 工具  IBM杜撰的术语)
a.性能因素:关系到设备生产达到要求结果的能力
■具有基本能力以达到工艺要求
■可重复性、灵活性、升级能力
■操作维护的简易性(计划的维护频率和时间scheduled maintenance frequency and time、平均到失效期间的时间mean time to failure MTF、平均到修理前的时间mean time to repair MTR)
■供应商的支持(企业间“模糊的边界”)
b.经济因素:关系到价格、成本和支持因素
6、所有权成本(COO)公式:由Sematech提出的用来评估设备的购置
7、自动化:
a.工艺自动化(处方 recipe)
b.晶圆装载自动化
c.集簇(clustering)(集成处理 integrated processing、并行处理parallel processing)
d.晶圆传送自动化(AGV  automated guided vehicle、 RGV  高架轨道 跨轨)
e.闭环控制系统自动化
f.工厂层次的自动化(MIS 信息管理系统  CIM computer integrated manufacturing 计算机集成制造: CAD 计算机辅助设计  CAM 计算机辅助制造 CAPP computer-aided process planning计算机辅助工艺设计)
8、设备标注:(SEMI  SECS I SECSII MESC)
a.芯片厂的地面布局
b.批量和单晶圆工艺
c.绿色芯片厂(环境方面的法规和关注)
9、统计制程控制(SPC):
平均值、直方图(histogram)、正态曲线(normal curve)、柏拉图(Pareto Chart)、X-R控制图、多变量实验分析
9、库存控制:
a.工艺中晶圆数(WIP)控制;
b.及时库存控制(JIT):需求带动(demand-pull)、先入先出FIFO、热批次(hot lot)、工作单元(work cell)、JIT-CAM系统;
c.质量控制和ISO 9000认证:
■两大质量组成部分:QC(质量控制)和QA(质量保证)
■1987年引入ISO 9000系列,雨伞标准(EC  ANSI  ASQC  SEMI)
10、生产线组织(跨部门合作团队的形式)

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