译 者 序

本书的译者是来自摩托罗拉（中国）电子有限公司天津半导体集成制造中心的20几位资深工程师。他们中很多人持有国内知名大学的工学硕士学位，并在半导体前段和后段制造厂从业近10年，其中多人有在海外世界级先进技术的芯片厂工作和培训的经历，是中国最早的半导体从业人员，其理论和实践知识兼备。他们自愿组成团队翻译此书，在紧张忙碌的工作之余，利用业余时间完成了全书的翻译工作，其初衷是把这本优秀的综合介绍半导体工业工艺与制造技术的书籍介绍给国内的读者，也希望谨此为中国的半导体制造工业的发展做些微薄的贡献。
全书共分18章，赵树武为翻译小组组长，在全书的翻译过程中做了大量的组织协调工作，并为中译本作序。其中第1章和第9章由于世恩翻译，第2章由马法军翻译，第3章由吴红东翻译，第4章由于雷翻译，第5章由龚平和于力翻译，第6章由刘海龙翻译，第7章由陈松翻译，第8章由李宝刚翻译，第10章由徐宏翻译，第11章由黄小锋翻译，第12章由曾庆成翻译，第13章由赵彬和樊新军翻译，第14章由尹娟毅翻译，第15章由朱践知翻译，第16章由于成飞翻译，第17章由闰智勇翻译，第18章由穆泓毅翻译。术语部分由李振林和朱践知翻译。译本改正了原书中的一些印刷错误，对部分需要商榷的地方和译者在原著基础上进一步解释的内容，以“译者注”标明。全书由许学颖进行校订。由于受译者水平和时间的限制，译本难免存在不妥之处，恳请广大读者批评指正。
如果读者希望了解更多的半导体行业相关的技术和知识，并乐于与译者进行更深入的探讨，欢迎通过以下的联系方式与译者联系，共同切磋交流。
中 文 版 序
时下的中国半导体工业正如中国稳步发展的经济的环境一样，其势头锐不可挡。 世界半导体的设计及制造中心正以非常快的速度向中国大陆转移。有关专家预测：中国的芯片市场将继续以非常快的速度增长。诱人的市场前景、低廉的劳动成本和丰富的原材料将刺激全球电子产品制造商不断地把生产设备向中国转移，从而进一步加快中国半导体工业的发展。在半导体工业这一高科技领域中从业人员一定要具备相当的专业素质才能立于不败之地。
目前，在国内市场，综合介绍半导体工艺制作流程的书籍非常少。本书是一部综合介绍半导体工业非常实用的专业书籍。其英文版在半导体业界享有很高的声誉，被列为业界最畅销的书籍之一。其作者Peter Van Zant先生在半导体行业有相当的知名度。这本书很完善地介绍了被称为技术创新脊梁的行业，半导体工业，其介绍范围包含了整个半导体工艺制程，从原材料硅片的制作到已完成封装测试的集成电路器件的工艺。从1984年第一版出版以来，本书已再版三次，并且每次再版都会将最新的制造技术融入到新版本中。
本书采用了直截了当的介绍方式，避免介绍繁杂的数学理论，非常适用于培训、教学和自学，专门为各类半导体专业人员量身定制。本书为方便半导体业界以外人士的阅读，内容中也包含了对理论基础知识、半导体工业的历史，以及最新半导体技术的详细描述。
从本书中，读者可以通过阅读作者通俗易懂的语言了解半导体制造工艺的各个阶段，如测试、制造流程、商用集成电路类型以及封装种类。
另外，本书作者Peter Van Zant先生特意随每一章节安排了知识测试和复习总结纲要，使本书内容更实用、更适用于自学。当阅读到本书的最后一页合卷回首时，将一定会对半导体科技中所有重要的问题和工艺、材料以及方法有了很深的理解，不管是在亚原子水平上还是在大规模的工业制造中。
赵树武
2004年于天津
前        言
在1984年时，我几乎没有想到过本书会出它的第四版。在McGraw-Hill 出版社和我的编辑 Steve Chapman的支持和引导下，新的一版终于和读者见面了。读者注意到新版的更新速度比其他大部分技术书籍通常的更新速度要快。对于芯片专业人士和观察者来讲，其原因是显而易见的：这一工业的技术发展的步伐是在变快而不是变慢。
我尽量把上一版中过时的、次要的描述去掉，以新的描述取而代之。铜技术和多层金属的到来催生了一系列的新工艺。正如在前三版中指出的，有一天，光学成像会被其他技术所代替。尽管这是一个真实的描述，但是聪明的工程师们一直在继续用光学技术做出越来越小的图形。总有一天，我会把成像技术从本书中删除，但是可能不会很快。
章节内容基本上和以前的版本一样，除了把“芯片制造概述”一节安排到第4章。这一变化的目的是使读者在开始进入专门工艺章节前，先有对基本工艺的了解。
半导体工业协会报告说，在不久的将来，半导体工业会生产出相当于地球上每人拥有十亿个晶体管。基于这样的增长速度，我们可以预见到半导体工业还会有好多年的发展。与此同时，集成电路生产和半导体工艺中的物理、化学和电子学依然有效，并且在第四版中，我们继续关注这些基本理论。
要感谢半导体服务的Anne Miller，Jim Hayes顾问和Portland社区大学的David Hata，是他们为本书提供了新的材料和建议。
还要感谢Pro-Image公司的 Lucy Luckenbaugh，她对此版的编辑提供了帮助，并对我未能按时交稿表现出极大的耐心。
Peter Van Zant
Grass Valley，加州