前言及序言(点击链接查看之)——————————–1 第1章 半导体工业————————————–2—3 第2章 半导体材料和工艺化学品————————–4—5 第3章 晶圆制备——————————————-6 ...
第四章 芯片制造概述 1、芯片制造的四个阶段:原料制作-单晶生长-晶圆制造、集成电路晶圆的生产(wafer fabrication)-集成电路的封装; 2、晶圆术语: 器件或叫芯片-Chip、die、device、circuit、microchip、bar 街区或锯切线-Scribe lines、saw lines、streets、avenues 工程试验芯片-Engineering die、test die 边缘芯片-Edge die 晶圆的晶面-Wafer Crystal Plane 晶圆切面/凹槽-Wafer flats/notche 3、晶圆生产的基础工艺:增层-光刻-掺杂-热处理 4、电...
第三章 晶圆制备 1、晶圆制备阶段:矿石到高纯气体(四氯化硅或者三氯硅烷)的转变-气体到多晶的转变-多晶(polysilicon)到单晶、掺杂晶棒的转变-晶棒到晶圆的制备; 2、原子在整个材料里重复排列成非常固定的结构,这种材料称为晶体(crystal);原子没有固定的周期性排列的材料称为非晶体或者无定形(amorphous); 3、晶体里的原子排列为晶胞(unit cell)结构-晶体结构的第一个级别;晶格(lattice); 硅晶胞具有16个原子排列成金刚石结构,砷化镓晶体具有18个...
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